ProRGA-7000殘余氣體質(zhì)譜分析儀
ProRGA-7000是聚光科技基于質(zhì)譜分析技術(shù)平臺開發(fā)的一款高性能殘余氣體分析儀,用于檢測特定真空區(qū)域內(nèi)關(guān)鍵氣體分壓,適用于真空度10Pa到常壓應(yīng)用場合。具有毫秒級響應(yīng)速度和ppb級的靈敏度,非常適合檢測真空泄露狀態(tài),如電池、半導(dǎo)體、凍干機(jī)等真空腔體內(nèi)部特定過程相關(guān)氣體的污染水平或動態(tài)波動,并及時提醒用戶可能產(chǎn)生的潛在風(fēng)險,提升產(chǎn)品良品率。
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