FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)
FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術結合離子色譜分析方法,實現(xiàn)了多點采樣、氣體自動吸收富集、在線質量控制等全自動在線監(jiān)測功能,解決了潔凈室AMC監(jiān)測過程中人員投入大、數(shù)據(jù)監(jiān)測頻率低、數(shù)據(jù)反饋不及時等問題;可應用于半導體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物(AMC)中酸性物質(MA)、堿性物質(MB)污染物的在線監(jiān)測。
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