數(shù)據(jù)可靠
系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)遠(yuǎn)距離采樣、自動(dòng)富集吸收、自動(dòng)質(zhì)量控制、自動(dòng)分析、數(shù)據(jù)自動(dòng)上傳全流程自動(dòng)化。
避免人工誤差引入,數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。
靈敏度高
大體積進(jìn)樣濃縮,大幅提高系統(tǒng)檢測(cè)能力,檢出限可達(dá)亞ppt級(jí),縮短系統(tǒng)運(yùn)行周期。
監(jiān)測(cè)面廣
單套系統(tǒng)最多可配置32個(gè)點(diǎn)位的樣品采集;
系統(tǒng)通過(guò)真空泵遠(yuǎn)距離采樣,可覆蓋300m范圍內(nèi)樣品的在線監(jiān)測(cè)。
設(shè)計(jì)合規(guī)
系統(tǒng)管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設(shè)計(jì),滿足SEMI F57中相關(guān)析出雜質(zhì)的控制要求。
吸收高效
在線雙吸收模塊設(shè)計(jì),有利于節(jié)約樣品分析時(shí)間,數(shù)據(jù)輸出更快更高效!