支持多個(gè)標(biāo)記物同時(shí)檢測(cè)，單組分檢測(cè)時(shí)間小于0.5S。
●真空適應(yīng)性強(qiáng)
適用于真空度10Pa到常壓應(yīng)用場(chǎng)合下ppb級(jí)殘余氣體分析。
●設(shè)計(jì)緊湊
采用模塊化設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、尺寸小巧，可以方便嵌入生產(chǎn)工藝中。
●自動(dòng)校準(zhǔn)
具備自動(dòng)校準(zhǔn)功能，消除傳感器運(yùn)行漂移，確保長(zhǎng)期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。
●智能診斷
功能強(qiáng)大的殘余氣體專用分析軟件，具備自動(dòng)標(biāo)定、數(shù)據(jù)處理、儀器調(diào)諧和方法開發(fā)等多種功能，并集成診斷工具，隨時(shí)監(jiān)控儀器及工藝參數(shù)狀態(tài)。
應(yīng)用領(lǐng)域
電池、半導(dǎo)體、凍干機(jī)等行業(yè)
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