高精度痕量氣體分析儀（TGA-327）是一款專為測量氟化氫(HF)而設(shè)計的專業(yè)儀器，采用光腔衰蕩光譜技術(shù)（CRDS），具有超高的靈敏度，其檢測下限可達(dá)ppt級別。不需要現(xiàn)場校準(zhǔn)，非常適合連續(xù)測量。 
該分析儀內(nèi)部管路都進(jìn)行了特殊涂層，可以有效的減小氟化氫(HF)分子在管道壁上的吸附，加速測量的響應(yīng)時間并消除測量偏差。同時分析儀采 用小體積腔設(shè)計，能夠進(jìn)一步提升測量速度。 
光腔衰蕩光譜（CRDS）與離子遷移譜（IMS）和離子色譜傳統(tǒng)技術(shù)相比，具有探測下限低、響應(yīng)時間快、無需耗材等顯著優(yōu)勢，該分析儀具有更優(yōu)的長期穩(wěn)定性和低維護(hù)性。